技术编号：8105580
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及面状加热器，更详细而言，涉及一种在石英玻璃板状体中封入了碳线(carbon wire)发热体，且适宜使用于半导体制造工艺中 的晶片等的热处理用的面状加热器。背景技术在半导体制造工艺中，在其工序中对硅晶片等施加各种热处理。在 这些热处理中要求严密的温度管理，并且要求将热处理气氛保持为不存 在尘埃等颗粒的洁净的气氛。为此，对于用于热处理的加热用加热器，要求满足均热性以及升/ 降温控制性能优越，并且不放出颗粒等污染物质等各种必要条件。作为这样的半导体制造用的加热器的一种，存在将发热体和非氧化 性气氛气体...
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