技术编号:8106499
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型涉及一种用于多晶铸锭生产的二次掺杂装置,包括多晶铸锭炉、坩埚和进气管,所述坩埚固定安装在多晶铸锭炉内,所述进气管的一端与坩埚上部相连接,进气管的另一端延伸到多晶铸锭炉的外部,所述进气管位于多晶铸锭炉外部的一端还依次连接有进气支管和三通容器,所述三通容器的三个接口分别为用于连接氩气供应装置的氩气进气口、用于与进气支管连接的进气接口和用于将掺杂剂加入三通容器的掺杂接口,所述氩气进气口处设有一号阀,所述进气接口处设有二号阀,所述掺杂接口处设有三号阀。本实用新型在使用时无需打开炉腔,进而保证不将空气混入炉...
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