一种坩埚用溢流底板的制作方法技术资料下载

技术编号:8107742

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专利摘要本实用新型公开了一种坩埚用溢流底板,包括一个板状本体,在板状本体的表面设有引导槽,所述引导槽连接板状本体的中心区域和板状本体的边缘。在板状本体的边缘设有溢流孔,所述引导槽连通至溢流孔。利用本实用新型装置,一旦其上方的坩埚发生漏硅,硅熔液沿坩埚用溢流底板与坩埚之间的引导槽,向坩埚底面四条边流去,在溢流孔处流出,流向下部对应的溢流丝,高温的硅熔液直接熔断不锈钢丝,而使溢流丝两端的阻值发生变化,从而检测到漏硅的发生,及时发出声光报警,通知人员撤离,并紧急冷却,降低危险的进一步恶化。专利说明 技术领域 [000...
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