技术编号:8108102
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型创造提供区熔炉上轴限位保护装置,包括区熔炉、线圈、多晶棒料、观察窗法兰、PLC控制器、激光测距传感器、上轴伺服控制器和上轴速度电机,多晶棒料位于区熔炉内,且与上轴速度电机连接,线圈位于多晶棒料下端,观察窗法兰位于区熔炉一侧,且观察窗法兰内设有玻璃,激光测距传感器位于玻璃外侧,激光测距传感器输出信号通过信号线分别与PLC控制器和上轴伺服控制器连接,所述上轴伺服控制器通过信号线与所述上轴速度电机连接。本实用新型创造通过在炉外安装激光测距传感器,增加检测和自动控制多晶棒料与线圈距离的功能,避免因人为控制...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。