技术编号:8111014
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉用热交换台及多晶硅铸锭炉。所述多晶硅铸锭炉用热交换台包括热交换台本体,该热交换台本体上设有石墨底板,石墨底板上设有坩埚;所述坩埚侧壁装有石墨护板;所述热交换台本体的上部与下部设有保温层,所述热交换台本体的侧壁设有绝热层。所述多晶硅铸锭炉具有上述热交换台。本实用新型通过在热交换台的侧壁设置绝热层,可以有效地避免微晶现象的产生,提高产品质量。专利说明—种多晶硅铸锭炉用热交换台及多晶硅铸锭炉 技术领域 [0001]本实用新型属于多晶硅制造设备领域,具体涉及一种多晶硅铸锭炉用热交...
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