直接生长蓝宝石整流罩的设备的制作方法技术资料下载

技术编号:8111524

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专利摘要本实用新型公开了一种直接生长蓝宝石整流罩的设备,包括机架、炉体、坩埚、以及毛细管导模,在机架的下方设有一旋转组件,所述旋转组件包括固定架、旋转电机以及传动杆,通过该旋转电机能够带动坩埚转动;在炉体上方设有一支架,在支架上设有一纵向移动机构和横向移动机构,所述横向移动机构与纵向移动机构相连,在横向移动机构上设有一力矩电机,在力矩电机的输出轴上设有一籽晶杆固定架,所述毛细管导模竖直设于炉体内,并通过固定夹具安装于坩埚上,其下端伸入坩埚内;在炉体顶部设有一供籽晶杆穿过的通孔,且籽晶杆能够在该通孔内横向移动。本实用...
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