技术编号:8112948
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型涉及多晶硅铸锭炉,旨在提供多晶硅铸锭炉漏硅监测及防护装置。该多晶硅铸锭炉漏硅监测及防护装置包括溢流丝、密封组件、莫来石罩组件、垫高块组件、莫来石和PLC模块;垫高块组件设在石墨柱的下部外侧,石墨柱与垫高块组件之间装有莫来石,多晶炉的炉体底部抽气口上设有莫来石罩组件,抽气口与莫来石罩组件之间装有莫来石,垫高块组件和莫来石罩组件四周都铺有莫来石;石棉层的上部铺有溢流丝,溢流丝通过两个密封组件与设置在多晶炉炉体外部的PLC模块连接。本实用新型在生产过程中发生少量漏硅现象时,能第一时间触发报警,在大量漏硅...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。