技术编号:8114624
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型涉及半导体生产技术领域的设备,名称是有扇风板的拉晶炉,它具有架子,架子上安装有可摇摆的炉体,炉体内具有炉腔,所述的炉腔内具有扇风板,扇风板是上面具有转轴,下面是平面的结构,所述的炉腔顶部具有安装装置的挂鼻儿,所述的转轴就安装在挂鼻儿内,所述的扇风板是多个的,多个扇风板排列安装在炉腔顶部,这样的具有扇风板的拉晶炉可以使炉腔内部温度均匀、提高产品质量,所述的扇风板是多个的,多个扇风板排列安装在炉腔顶部,具有可以使炉腔内温度更均匀的优点。专利说明具有扇风板的拉晶炉 技术领域 [0001]本实用新型涉...
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