有机el器件的制造方法以及有机el器件制造装置的清洗方法技术资料下载

技术编号:81151

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技术领域本发明涉及通过确实地避免当例如在其上形成有阳极的衬底的表面上形成有机层时由于有机物等引起的不利影响而稳定地制造高质量有机EL器件方法。 背景技术对于以平板类型显示器为代表的下一代显示器的应用,利用有机化合物的电致发光器件(有机EL器件)被认为是迄今还没有获得的具有高转换效率的基于电/光转换的器件,并且在最近几年中,迅速地进行其研发。 作为有机EL器件的一个例子,示例了有机EL器件101,其中将空穴注入层104、空穴传输层105、发射层106、电子传输层107,以及背电极(阴极)108层叠在衬底102的表面...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。

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