技术编号:8116079
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型提供一种湿法刻蚀装置,所述装置至少包括腐蚀槽以及至少两个过滤器;所述腐蚀槽与每个过滤器通过第一、第二管道连接;所述第一、第二管道上分别对应设有第一、第二阀门;所述第一阀门与所述过滤器之间设有与所述第一管道相通的进液管;所述第二阀门与所述过滤器之间设有与所述第二管道相通的出液管。本实用新型的湿法刻蚀装置通过增加连接在腐蚀槽上的过滤器使得湿法清洗过程与清洗过滤器的过程互不影响,清洗过滤器时不会对腐蚀槽造成侵蚀,延长腐蚀槽的使用寿命;同时不用拆卸清洗装置即可将过滤器中的杂质清除,提高过滤器清洗效率,从而...
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