技术编号：8116598
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及用大气压力等离子体来处理对象的等离子体处理装置以及使用该装置的等离子体产生方法。过去，使用大气压力等离子体进行各种表面处理。例如，日本专利早期公开[KOKAI]2-15171、3-241739和1-306569每篇公开了通过包括一对电极和在反应室中置于其间的介电材料的等离子体处理设备来进行等离子体处理。在这些方法中，将含有以惰性气体如氦或氩为主要成分的产生等离子体的气体输送到室内，通过在电极间提供AC(交流)电场以产生的等离子体来处理对象。另外，日本专利早期公开[KOKAI]4-358076、3-...
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