技术编号：8117947
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种半导体制造装置以及其他的制造装置、或者化学反应处理装置等 中的配管用加热器。背景技术目前，在半导体制造装置、化学处理装置、食品制造装置以及其他的制造装置中， 使用有一种配管用加热器，利用该配管用加热器来防止在移送处理前的气体或液体以及处 理后的气体或液体的配管的内壁上所述气体以及液体的固化或堆积。作为配管用加热器，公知的是使发热体直接与作为被加热体的配管接触来进行加 热的接触加热型的配管用加热器，具体地说，有在隔热材料和玻璃布等中埋设发热体、并卷 绕在配管上的套式加热器(jacket heat...
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