技术编号:8119361
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于等离子体放电反应器技术领域,涉及一种冷等离子体射流发生 装置,特别涉及到一种简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生器。背景技术低温等离子体空间富集的离子、电子、激发态原子、分子及自由基都是极 活泼的反应性物种,这些活性粒子数量大、种类多、活性高,易于和所接触的 材料表面发生反应,因此近年来,低温等离子体在灭菌消毒、表面改性(改善 纸张、薄膜、纺织品以及纤维的可湿性、吸水性、印染性、粘着性和导电性等 方面的性质)、薄膜沉积、刻蚀加工、器件清洗等领域得到越来越广泛的应用。 目前,多数低温等离子体是在几百...
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