技术编号：8120819
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明有关于一种调整装置，特别是有关于一种具有二维平行度调整功 能的调整装置。背景技术在工业应用的许多工艺中，经常需要利用一个可移动式载台将其上所载 负的一平面向另一平面靠近，以利于后续的工艺的进行。而在要求较高精密 度的工艺中，通常会要求位在可移动式载台上的平面与其接近的另一平面间 的平行度，以确保工艺完成后的成品质量。例如在一个具有可移动式的平面接合头(BondHead)的接合系统中，当接合系统将平面接合头向前移动，以 接触欲接合的接合物的一平面，此时若平面接合头的平面与接合物的平面之 间的平行度不佳，...
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