技术编号:8121934
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明是关于一种显示面板显影设备及方法,特别是一种适用于。有机电激发光显示面板的主要结构包含有复数条互相平行的铟锡氧化物(ITO)阳极电极,复数条互相平行但与阳极电极垂直的光阻阻隔墙,一有机电激发光材料层是蒸镀于相邻的光阻阻隔墙内,以及复数条互相平行的阴极电极,是蒸镀于有机电激发光材料层上。阳极的形成及画素区域的形成是利用光阻的显影形成图样再选择性地进行蚀刻而完成。有机电激发光显示面扳的制作过程中,公知的显影技术在传统的集成电路、光电制程中,是将矽基板置于吸盘上旋转,而後由喷嘴分别喷洒显影液与水洗液,最後再...
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