技术编号:8121983
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及多晶硅生产领域,特别是。 背景技术生产多晶硅的整个系统中,心脏设备是多晶硅氢多晶硅氢还原炉。在多晶硅 氢多晶硅氢还原炉中还原生成多晶硅是在一个较高的温度条件(1080°C)下反应 进行,进炉气体在进炉之前通过高效板式换热器与尾气换热,进入多晶硅氢多晶 硅氢还原炉后又被硅棒加热,其尾气温度很高(55(TC—65(TC),导致尾气管道温 度相应增高(550—650'C),因此需要对尾气管进行冷却。现在的工艺过程, 一般是采用冷水对尾气进行冷却。冷却水套中存在有焊缝, 一旦有水通过焊缝泄漏侵入到整个生产...
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