技术编号:8122294
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于半导体材料生产领域,涉及其中氧化铝单晶(又称蓝宝石、白宝石)成品的初始原料,具体涉及。背景技术目前,半导体LED 二极管(又称LED芯片)的衬底材质有硅(Si)、碳化硅(SiC)、氧化铝(Al2O3))三种。由于氧化铝单晶化学稳定性好、不吸收可见光、价格适中、制造技术相对成熟,所以是市场上的主流产品。理论上,氧化铝粉可以直接用于制造氧化铝单晶;但单晶炉生长单晶过程中通常要抽真空充入惰性保护气体,而随着气体流动会导致粉体飞扬,造成气体进出口堵塞,造成设备故障与危险。所以,直接用粉体材料在实际中行不通...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。