技术编号：8124811
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种移动平台，尤其涉及一种带自锁功能、可进行闭环控 制的移动平台。 背景技术为了满足仪器设备在振动环境中做高精度直线位移的需要，同时要求仪器在移动过程中直线移动精度应高于0.5pm，与移动方向的夹角应小于2角秒，并 且可根据反馈的移动距离信息自动控制移动距离；但是现有的移动平台无法达 到如此高的移动精度，而且无法反馈具体的移动距离，还会在随机振动过程中 因无法锁定而产生位移误差。 发明内容本实用新型目的是提供一种带自锁功能的高精度移动平台，它解决了现有 移动平台移动精度低、无法反馈具体的移动距...
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