技术编号：8125106
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种单晶炉，具体涉及单晶炉的热场气流排出导向装置。背景技术图l为切克劳斯基(直拉)法制造硅单晶的单晶炉剖面示意图；在图中 省略了支承结构、炉盖、晶体提拉抢室、提拉杆、视窗部分，单晶炉外壳由不锈钢制成。图中，l为籽晶，3为硅单晶棒，4为上盖，5为碳保温材 料，6为温度信号孔，7为石墨的发热体、8为晶体生长室，9为排气口， IO为防漏盘、ll为石墨中轴、12为碳保温层、13为硅熔体、14为石墨的 坩埚支持器、16为石英坩埚、17为保温筒、18为保温筒底座。发热体通过 图5中的一对电极柱15与供电电...
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