节料型原子束发生器的制作方法技术资料下载

技术编号:8127413

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技术领域本发明是一种节料型原子束发生器,属于原子束生成技术领域。背景技术 随着现代科学技术的发展,人们把磁光场用于对原子进行控制,制作各种超微细图形。为了产生原子束,一般使用加热真空系统某局部原子材料的原子发生器产生。这些能产生原子束的原子发生器设备,由于从喷射小孔喷出的原子具有较大的发散角,而真正能被利用的只有小发散角原子,大部分发散角较大原子都被挡板挡去而浪费掉,连续工作不了多少时间就需加原子材料,因此尽管高纯度原子材料比较贵重,这些设备却都还存在着耗料大,可连续喷射原子束时间短的缺陷。发明内容本发明的技术解决...
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