技术编号:8127614
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及多晶硅生产领域,特别是涉及一种用于多晶硅生 产的还原炉。背景技术多晶硅是制造集成电路衬底、太阳能电池等产品的主要原料。多 晶硅可以用于制备单晶硅,其深加工产品被广泛用于半导体工业中, 作为人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等器件的基础材料。 同时,由于能源危机和环境保护的要求,全球正在积极开发利用可再 生能源。太阳能是所述可再生能源中最引人关注的,因为其清洁、安 全、资源丰富。利用太阳能的一种方法为通过光电效应将太阳能转化 为电能。硅太阳能电池是最普遍采用的基于光电压效应的装置。由于 半导...
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