技术编号：8129368
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种还原炉进气装置，更具体地就，涉及一种PLC自动控 制的多晶硅还原炉进气装置，属于太阳能光伏能源技术领域。背景技术目前，世界上多晶硅的制备以SiHC13还原法为主，在生产过程中，工艺气 体由还原炉底盘的进气口进入，工艺气体被加温至110(TC左右，其中的SiHC13 与H2反应生成多晶硅并在硅芯表面沉积，形成硅棒。工艺气体的进气效果直 接影响到硅棒的生成质量，反应之初需要的工艺气体的量较少，随着反应的正 常进行，需要逐渐加大工艺气体的流量。现在对于工艺气体流量的控制主要分 为手工操作和自动控...
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