技术编号:8129957
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属涉及一种蓝宝石晶体生长方法,具体为自动引晶和生长的大尺寸蓝宝石晶体生长方法。背景技术蓝宝石是三氧化二铝的α相单晶,具有硬度高(莫氏9)、耐高温、那腐蚀,透光性优良。蓝宝石晶体广泛应用于半导体衬底、特种窗口等领域。特别是高亮度白光LED作为下一代通用照明器件,具有绿色节能等优点。蓝宝石衬底是氮化镓基白光LED的最主要衬底,市场的需求量巨大。蓝宝石晶体一般采用熔液中生长的方式制作,最主要的生长方式有泡生法、提拉法和坩埚下降法。以上方法生长的蓝宝石晶体一般由于气泡以及尺寸影响,在大尺寸蓝宝石衬底取料存在困...
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