技术编号:8136180
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及用于将规定频率的电磁波向对被处理体进行等离子体处理的处理容器导入的平板天线部件、以及具备该平板天线部件的等离子体处理装置。背景技术作为对半导体晶片等被处理体进行氧化处理、氮化处理等等离子体处理的等离子 体处理装置,公知有使用具有多个槽的平板天线部件向处理容器内导入例如频率2. 45GHz 的微波来生成等离子体的方式的等离子体处理装置(例如JP特开平11-260594号公报、JP 特开2001-223717号公报)。在这种微波等离子体处理装置中,通过生成具有高等离子体密 度的等离子体,能够在腔室内形...
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