技术编号：8138217
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种多晶硅铸锭炉或提纯炉的石墨加热器的结构，属多晶硅铸锭炉或提纯炉的加热器的结构的设计与制造技术领域。 背景技术采用中频炉来进行多晶硅铸锭及提纯是太阳电池硅材料领域的晶体生长及提纯 的手段之一。中频炉的特点是所用的石墨加热器是整体形的石墨，不需切缝成条状来提高 及调节其电阻率，因而比采用电阻法石墨加热器的使用寿命长且易于加工。 一般使用的中 频加热式多晶硅铸锭炉是采用园形的加热线圈及园形的加热器，与多晶硅锭所用的方形坩 埚形成不了紧密的传热空间，且石墨加热器是由一块整体的石墨来加工完成的，加工中要...
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