技术编号：8138543
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种自动升降系统，更具体地涉及一种真空环境行业中生产线上的成 品或半成品进行升降的自动升降系统。背景技术升降装置在工业设备中的应用领域十分广泛，如在真空领域中，半导体的传输、光 刻等过程，均需由升降装置实现成品或半成品的升降运动。而升降装置的运动精度、可靠性 往往成为设备运行好坏的关键。传统的升降方法有液压法、气压法、机械螺旋法等。液压法有比较大的顶升力，且 有良好的自锁性能，但实施该方法的技术要求较高。如使用液压升降装置，其结构复杂，加 工精度要求高，维修难度高，而且其有效工作行程受油量的限制。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。