技术编号：8138594
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种三维硅光子晶体的制备方法。背景技术光子晶体是一种介电常数在空间上呈周期分布的新型光学材料。当介电常数的变 化幅度较大且与光的波长相比拟时，介质的布拉格散射会产生带隙，即光子禁带，相应于 此带隙区域的那些频率的光在某些方向上是被严格禁止传播。尤其是电介质在空间呈三维 周期分布的光子晶体由于在各个方向都呈现光子带隙，在光学、光电子学和传感领域的巨 大的潜在应用前景更为广阔，更具吸引力。因此，三维光子晶体的制备、理论研究还是器件 设计、应用探索，都引起了国际科学界的广泛重视。制备三维光子晶体现倍受关...
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