技术编号:8139170
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及为液相外延生长铋取代稀土类铁石榴石(Bi-RIG)单晶等的磁性石榴石单晶膜的磁性石榴石单晶膜形成用衬底以及使用该衬底进行晶体生长的单晶膜的制备方法和用该制备方法制备的单晶膜以及光学元件。背景技术 作为用于光学隔离器、光学循环器、光磁传感器等方面的法拉第转子等光学元件的材料,通常是采用在单晶衬底上外延生长磁性石榴石单晶膜的材料。作为在衬底上生长的磁性石榴石单晶膜,为了得到所期待的法拉第效果,迫切希望具有大的法拉第旋转系数。此外为了通过外延生长而形成优质的单晶膜,要求在从成膜温度到室温的温度区域,衬底...
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