技术编号：8139600
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于等离子体技术领域，涉及在大气压开放的条件下在射频电源的驱动下 应用氩气为载气，同时混合氧气或者氮气等活性气体通过辉光放电产生大面积、均勻的冷 等离子体射流的技术。背景技术近年来，大气压非平衡等离子体放电技术由于摆脱了真空腔的限制以及在生物医 学、电子工业、国防等领域非常广阔的应用前景引起了国内外研究者的广泛兴趣。同传统的 低气压放电等离子体材料加工过程相比，大气压非平衡等离子体材料加工过程，不需要在 真空条件下进行，这样大大降低了设备的建造和维护成本，同时解决了实际应用中受真空 腔体积的限制，并且...
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