技术编号:8140379
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种高频检测方法及高频检测电路,尤其涉及在向一个负载供给具有第一频率的第一高频功率和具有比第一频率低的第二频率的第二高频功率的高频电源装置中,用于检测有关第一高频功率的信息的高频检测方法以及高频检测电路。背景技术 近年来,将比较高的频率f的高频功率和比较低的频率f1的高频功率向一个反应室供给的等离子体处理技术在开发之中。在该等离子体处理技术中,等离子体主要由频率f的高频功率生成,频率f1的高频功率用于控制在基板附近的离子的动静。在该等离子体处理技术中,正确地测定频率f的电压、电流、功率是重要的,但...
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