通过再熔化颗粒制造由硅构成的单晶体的方法技术资料下载

技术编号:8142339

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技术领域本发明涉及一种借助于一装置,所 述装置包括由硅构成的具有中心开口的转动板和由硅构成的锥形管,所述锥形管环绕所述 开口,且延伸到由硅构成的板的下方,而且所述装置还具有用于熔化硅的设置在由硅构成 的板的上方的第一感应加热线圈、和用于使熔融的硅结晶的设置在由硅构成的板的下方的 第二感应加热线圈。背景技术所述方法与浮区方法(FZ方法)类似。特别的区别在于,再熔化由硅构成的多晶 颗粒而不是由硅构成的多晶给料杆。可通过在流化床上沉淀而获得所述颗粒。专门的感应 加热线圈(“感应线圈”)相应地用于熔化颗粒和使熔融的颗粒结晶...
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