技术编号:8142405
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及扩散炉技术领域,特别是一种磷扩散炉管两端进气装置。 背景技术现有扩散设备中由于P0C13液体源扩散中,携带磷源的气流N2、反应气体&直接 通过一根进气管从炉尾进入炉管,靠近炉口处气体的浓度将比炉尾出气流低,导致整管方 阻片间均勻性较差。发明内容本发明所要解决的技术问题是提高磷扩散后的片内、片间方阻均勻性,达到较好 的整管方阻分布。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是一种磷扩散炉管两端进气装置,包 括两根在炉管内延伸的进气管,每根进气管的两端均连接到气源,每根进气管两端通入的 为同一种反应...
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