技术编号:8142825
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种长晶方法及其机台架构,特别涉及一种以凯氏法(KY法)为基础的改良式长晶方法及其机台架构。背景技术人工合成的蓝宝石主要成分为氧化铝,其不仅硬度仅次于钻石外,更具有高光学透光率、耐高温、高热传导等特性,近年来更广泛地应用在生长氮化镓的超高亮度蓝光、绿光、蓝绿光与白光LED磊晶用的基板。另外,也使用在表面声波元件、手术用尖端物件、内视镜镜头等众多领域。现有的蓝宝石晶体生产方式一般可分为两种,第一种是所谓的柴氏提拉法(CZ 法),第二种是所谓的凯氏法(KY法)。柴式提拉法是将原料放入坩锅中,使用加热源...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。