技术编号:8143027
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及硅多晶原料的清洗方法,特别是涉及一种采用混合酸液对多晶硅表面 进行腐蚀的。背景技术一般生产出的硅多晶原料由于尺寸、形状等限制不能够直接进行使用,需要加工 成尺寸、形状符合要求的多晶硅块料或棒料,这使得硅多晶表面在加工过程中引入了大量 杂质,因此多晶硅块料或棒料必须经过特殊清洗,去除表面杂质后才能进行使用。传统硅 多晶原料的清洗方法一般是采用一定比例的HNO3+HF混合酸进行腐蚀,然后采用去离子水 进行漂洗,以达到清洗硅多晶表面杂质的目的。其腐蚀原理为Si+HN03 — Si02+H20+N02 ...
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