技术编号:8143793
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于硅单晶制备设备技术领域,具体涉及一种直拉式硅单晶生长炉用导 流筒。背景技术硅单晶是制造集成电路和太阳能电池的主要原料,硅单晶的生长主要利用直拉 式硅单晶生长炉,将硅多晶原材料放入坩埚中,通过加热器将硅多晶原材料熔化,然 后,通过籽晶引导、向上提拉的方法生长出理想的硅单晶。在连续向上提拉的硅单晶生 长工艺过程中,工艺气体(高纯氩气)从硅单晶生长炉顶部充入,为了保证硅单晶的稳 定快速生长和挥发物的及时排除,在坩埚上面安装有导流筒,氩气经过导流筒和保温罩 的内壁,再通过真空泵从硅单晶生长炉下部抽气口排出...
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