技术编号:8144233
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种石英坩埚,尤其涉及一种异形石英坩埚。 背景技术随着科技的进步,市场对单晶硅的品质要求有着具体细化到对硅片的品质要 求,而坩埚的品质就会直接影响到单晶硅的品质。现有技术中,一般都是为圆底的石英 坩埚,在收尾时,液态长晶硅料在圆形坩埚底部剩余料较多,造成一定程度的浪费。于 是,有人生产出了四边形的坩埚,一定程度上解决了锅底余料的浪费,但是,这对模具 的要求甚高,且单面面积较大,收缩率也较大,对加热板的要求较高,不易控制。发明内容本发明的目的在于解决上述的技术问题,提供一种异形石英坩埚。本发明的目的...
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