技术编号：8144500
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种直拉式晶体生长炉的坩锅驱动装置，特别涉及一种直线导轨式坩埚提升装置。背景技术 直拉式晶体生长炉是最主要的高质量硅晶体生产设备。根据硅单晶的结晶规律，将原材料在石英坩埚内加热熔化，控制温度比硅单晶的结晶温度略高，确保熔化后的硅材料在熔液表面可以结晶。通过籽晶夹头将单晶平稳地提出液面，使之在炉筒内冷却、成形，最后结晶成一个主体为圆柱体、尾部为圆椎体的晶体。坩埚提升装置是晶体生长炉最关键的系统之一。它通过一根中空水冷的不锈钢轴伸入到炉体内，在石墨件的保护下托住石英坩埚，以稳定可控的速度提升和低速旋转...
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