技术编号：8146047
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种硅单晶制造装置，特别是涉及一种由断热材、热屏罩、反射板 组成的单晶炉装置。背景技术单晶硅一般用CZ法制造。CZ法指的是在单晶炉内设置石英坩埚，并将硅料装入 石英坩埚内，再依靠安装在石英坩埚周围的加热器使硅料熔化，后把安装在籽晶夹头上的 籽晶进入熔液，并通过籽晶夹头与石英坩埚的相互逆转进而制造出规定直径和长度的单晶 棒。此时，为了遮蔽熔液的热量，在石英坩埚上方设置围绕单晶棒的热屏。也就是说，现有的单晶炉装置通常包括热屏。请参阅图1，该热屏13可以是由热屏 罩21和断热材22所组成。断热材22...
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