环状电弧生产石英玻璃坩埚的工艺和装置及石英玻璃坩埚的制作方法技术资料下载

技术编号:8146542

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技术领域本发明涉及一种利用环状电弧熔化来生产石英玻璃坩埚的工艺,所述工艺适合于生产具有大开口直径的坩埚,还涉及石英玻璃坩埚。由于石英玻璃坩埚的增大,要求电极结构必须可以形成具有很大加热范围的电弧放电。传统的主要电极结构有3相交流电的3个电极,这种结构的缺点是,当电极之间的距离增加以便扩大加热范围时,电弧变得不稳定而中断。尤其是,对于大尺寸坩埚,由于模具转动在坩埚内造成气流的影响变大,所以传统的电极结构的电弧很容易中断。因此,进行了增加电极数量的尝试来扩大加热范围,提出了具有6相交流电的6个电极的结构。然而,对于6相...
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