一种双孔式大气压辉光放电低温等离子体源的制作方法技术资料下载

技术编号:8146696

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技术领域本发明属于气体放电技术领域,涉及到一种气体放电低温等离子体源,特别涉及到一种双孔式大气压辉光放电低温等离子体源。背景技术 随着等离子体物理学的发展,等离子体技术在工业生产和人民生活中发挥着越来越大的作用。大气压低温等离子体因其无需真空系统、易于在线加工等优点在诸如织物表面改性、化工合成、污染物处理等领域显示出了良好的应用前景。在大气压放电条件下,通常可以实现电晕、辉光、弧放电等不同放电方式。弧放电存在的缺点为(1)集中在空间的局部区域,难以进行大面积加工处理;(2)放电区的气体温度高,对待处理的低熔点材料产...
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