技术编号：8150726
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及超精密定位技术，特别是一种UPC型空间三转动微动超精密定位D ο背景技术常用的三自由度并联机构一般都是运用刚性元件来实现，为了实现精密定位，通 常采用伺服电机和精密丝杠传动方案，然而这种定位方式由于螺纹间隙和传动摩擦的存 在，其定位精度一般只能达到微米级。为了补偿传动误差，提高分辨率，往往采用电磁或压 电驱动对工作平台进行精细位置调整，但调整过程长、系统复杂，且由于空间耦合作用使得 空间定位精度调整难以实现。实用新型内容为克服上述不足，本实用新型提供一种UPC型空间三转动微动超精密定位平台。本...
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