技术编号:8151475
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域一种用于制作晶体硅太阳能电池PN结的石英炉管技术领域[0001 ] 本实用新型涉及一种太阳能电池扩散工艺用设备,尤其是涉及一种用于制作晶体硅太阳能电池PN结的石英炉管。背景技术[0002]太阳能电池作为新兴的清结可再生能源,因其具有直接将太阳能转换为电能,且寿命长、维护简单等优点而备受瞩目,其中晶体硅太阳能电池的应用最为广泛。[0003]制作晶体硅太阳能电池的关键过程就是PN结的制备,在晶体硅的表面形成PN结的方法有气相扩散、涂敷扩散和离子移植等,目前工业化生产中大部分采用气相扩散法制备PN结。由于PN结性...
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