技术编号：8152672
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及单晶硅技术领域，特别涉及一种。背景技术直拉单晶制造中是把原料多硅晶块放入石英坩埚中，在单晶炉中加热融化，将籽晶插入液面等待晶线出现后开始放肩等径生长。在这一过程中，固态硅与液态硅之间的固液界面上会有一圈很亮的光圈，以光圈上的晶线是否存在来判定该晶棒是单晶硅还是多晶硅如图I所示，图Ia为多晶硅棒，图Ib为单晶硅棒。因为这一过程始终保持在高温负压的环境中进行，所以操作人员只能隔着观察窗在单晶炉外部，进行肉眼观察光圈晶线是否存在，已生长的单晶硅是否断线变成多晶硅等。在整个生产过程中晶线是否存在都是靠经验...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。