技术编号：8153478
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于单晶硅直拉炉用热场材料配件技术领域，具体涉及。背景技术单晶炉除了炉体是不锈钢材料，里面的发热系统和支撑件均使用石墨件。生产单晶硅即是在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅材料熔化，用直拉法生长无错位单晶，单晶硅是以高纯度硅粉为原料，在氢或氩气等保护性气氛条件下，经1400°C 1600°C高温熔融籽晶牵引晶粒逐渐长大直拉成型的。直拉过程中，石墨坩埚连同石英坩埚通过炉室底部传动装置低速旋转，这就是直拉法(CZ法)。由于石墨的耐高温性能和良好的化学稳定性，CZ硅单晶炉的坩埚、衬套、反射板、发热体、保温...
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