技术编号:8154064
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及多晶硅生产设备技术领域,特别是用于制造大尺寸多晶硅铸锭的铸锭炉。本发明还涉及大娃锭铸锭工艺。背景技术太阳能发电最主要的手段是利用硅电池将太阳能转换为电能,而多晶硅铸锭是整个光伏产业的基础工艺。多晶硅铸锭炉是用于制造大型多晶硅铸锭的设备,它是将硅料熔融后通过定向凝固冷凝结晶,使其形成晶相一致的硅锭,从而达到太阳能电池生产对硅片品质的要求。其工作原理将多晶硅料装入有涂层的坩埚内,放在定向固化块上,关闭炉膛后抽 真空,加热待硅料完全熔化后,隔热笼缓慢往上提升,通过定向固化块将硅料结晶时释放的热量辐射到下...
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