技术编号：8154347
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及扩散炉领域，尤其是涉及一种液态源扩散炉的安全防护装置及其使用方法。 背景技术 公知的，在半导体器件及太阳能电池片生产过程中，扩散工序就是对P型或N型衬底进行掺杂以形成PN结，目前最主要也最普遍使用的掺杂设备就是以P0C13、BBr3和C3H9O3B等作为液态杂质源进行掺杂的液态源扩散炉；在实际操作时，为了在掺杂过程中保证液态杂质源的温度恒定，一般均采用将盛放液态杂质源的石英源瓶放置于恒温装置内进行掺杂操作，然而，由于目前的干式恒温装置价格十分昂贵，因此，一般在掺杂操作时对源瓶都是采用水浴恒温；但...
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