技术编号:8155259
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及等离子体工艺设备技术领域,具体涉及一种进气结构及等离子体工艺设备。背景技术在等离子体工艺设备中,所用的进气结构具有多种形式,设计合理进气结构形式,对于等离子工艺的均匀性和稳定性有着重要的作用。不锈钢金属管进气结构是等离子刻蚀、沉积等工艺中常见的进气结构,容易产生电气短路,造成等离子体熄灭或局部结构打火等现象发生,并且这种结构物理特性的场对称性比较差,容易产生循环波动的物理场,例如流场、热场或电磁场等等,从而影响等离子体工艺的均匀性与可靠性。发明内容本发明的目的在于提供一种进气结构,提高等离子体工艺...
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