技术编号:8155683
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于低温等离子体技术领域,涉及到一种等离子体发生器,特别涉及到一种大气压非热等离子体发生器。背景技术低温等离子体可以分为热等离子体和非热等离子体。热等离子体由于需要同时加热等离子体中的所有粒子,而需要消耗更多的能量,并且由于所有粒子都被加热,导致等离子体气体温度高达5000 K以上,进而对电极和发生器的材料与结构要求比较苛刻,同时需要快速冷却降温系统。但是在非热等离子体中,电子温度远高于重粒子温度,故气体可以保持在较低的温度,甚至室温。大气压下产生非热等离子体的方法主要有电晕放电、介质阻挡放电、火花放...
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