技术编号：8155702
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种蓝宝石晶体生长炉的结构设计，尤其是一种籽晶伺服机构。背景技术随着国内LED行业的逐渐发展，对蓝宝石衬底片的加工技术的要求越来越高，目前国内大多数采用KY晶体生长工艺，此种工艺是目前最易产业化生产，晶体质量最高的一种工艺。而这种技术的关键点在于引晶，引晶的质量好坏直接决定着晶体的质量。在引晶过程中，籽晶的伺服机构决定着操作者引晶的培训周期，引晶质量的稳定，以及可重复性。传统的泡生法KY技术其籽晶伺服机构粗糙，基本上都是手动操作，称重系统不够精密，并且不够稳定，其工艺掌握的程度很大程度上依赖于操作...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。