铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉的制作方法技术资料下载

技术编号:8155728

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技术领域本发明涉及铸锭多晶热场散热装置的技术领域,具体而言,涉及一种铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉。背景技术如图1所示,现有技术中的散热底板10'是实心长方形板,用于支撑盛放有液体硅的石英坩埚20'并用于该石英坩埚20'的散热。加热石英坩埚20'的方式主要有两种,一种是通过四周辐射加热,另一种是通过底部加热。上述两种加热方式均使石英坩埚20,受热不均匀,散热底板的各处导热率相同,各处的散热速度是基本相同的,因此经散热底板10'散热后,石英坩埚20'的底部温度分布仍然不均匀,这样导致石英坩埚2(V的底部的水...
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