技术编号:8155728
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及铸锭多晶热场散热装置的技术领域,具体而言,涉及一种铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉。背景技术如图1所示,现有技术中的散热底板10'是实心长方形板,用于支撑盛放有液体硅的石英坩埚20'并用于该石英坩埚20'的散热。加热石英坩埚20'的方式主要有两种,一种是通过四周辐射加热,另一种是通过底部加热。上述两种加热方式均使石英坩埚20,受热不均匀,散热底板的各处导热率相同,各处的散热速度是基本相同的,因此经散热底板10'散热后,石英坩埚20'的底部温度分布仍然不均匀,这样导致石英坩埚2(V的底部的水...
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